Wafer silikon adalah contoh dari bentuk mikroteknologi
Mikroteknologi adalah teknologi yang disusun dengan skala yang kecil atau mikroskopis. Pada tahun 1960, para ilmuwan mencari tahu bagaimana cara menyusun sejumlah besar transistor pada satu buah chip. Chip ini kemudian dapat dibuat dalam sirkuit mikroelektronik yang secara dramatis dapat meningkatkan performa, fungsi, kemampuan, dan juga mengurangi biaya serta, meningkatkan volume produksi. Teknologi ini banyak memicu pengembangan dalam revolusi informasi.
Yang terbaru, ilmuwan telah mengetahui bahwa tidak hanya alat elektronik, tetapi juga alat mekanis, bisa diminiaturisasi dan diberi tanda fabrikasi, memberikan harapan kepada dunia mekanika seperti yang telah diberikan teknologi sirkuit terintegrasi kepada dunia elektronik. Sementara elektronik menyediakan "otak" untuk produk dan sistem terbaru, alat mikromekanik dapat menyediakan sensor dan aktuator atau mata, telinga, tangan dan kaki.
Saat ini, alat mikromekanik ada pada komponen kunci berbagai inovasi produk seperti airbag, ink-jet printer, pemantau tekanan darah,dan sebagainya. Terlihat bahwa alat mikromekanik akan mudah menyebar sama seperti elektronik.
Sistem mikro elektromekanikal
Sistem mikro elektromekanikal atau MEMS (Micro Electro Mechanical System), pertama kali tercetus pada tahun 1980 untuk menjelaskan sistem mekanikal terbaru dan canggih pada chip, seperti motor mikroelektrik, resonator, roda gigi, dan sebagainya. Saat ini, istilah MEMS digunakan untuk merujuk pada alat mokroskopik dengan fungsi mekanikal yang bisa diproduksi secara massal (contoh, susunan roda gigi mikroskopik yang dipasang pada mikrochip dapat dikatakan sebagai MEMS, tetapi generator lasermini tidak). Di Eropa,istilah MST (Micro System tehnology) lebih sering digunakan, dan di Jepang MEMS disebut dengan micromachine.
Meski proses MEMS umumnya diklasifikasikan ke beberapa kategori, seperti permesinan, sesungguhnya terdapat ribuan proses MEMS yang berbeda. Beberapa melakukan proses geometri sederhana, sementara yang lainnya melakukan proses geometri 3-D yang rumit dengan banyak perubahannya. Sebuah perusahaan pembuat akselerometer untuk airbag akan membutuhkan desain dan proses yang sangat berbeda dibandingkan dengan pembuatan akseleromter untuk navigasi internal.
Perubahan dari akselerometer ke alat inersial lainnya seperti giroskop
membutuhkan perubahan dalam desain dan proses yang lebih rumit lagi, juga fasilitas perakitan dan tim rekayasanya.
Teknologi MEMS telah menghasilkan sesuatu yang menakjubkan terkait fungsinya yang luas dalam bidang aplikasi yang cukup penting ketika MEMS tidak bisa menunjukkan performa dan kemampuan standar, namun, pada zaman ketika segalanya harus berukuran lebih kecil, lebih cepat, dan lebih murah, MEMS menyediakan solusi yang mendesak. MEMS memiliki dampak yang cukup mendalam pada aplikasi tertentu seperti sensor otomotif dan printer inkjet. Industri MEMS yang sedang berkembang adalah pasar yang bernilai miliaran dolar. Diperkirakan akan tumbuh dengan cepat dan akan menjadi industri utama pada abad ke 21.Mikroteknologi terkadang dirakit menggunakan fotolitografi.
Gelombangcahaya difokuskan melalui suatu pelindung menuju ke permukaan, gelombang cahaya tadi akan memadatkan lapisan kimia. Bagian dari lapisan yang lembut dan tidak terekspos akan terbasuh, lalu asam akan membentuk bagian yang tidak terlindungi. Mikroteknologi yang paling terkenal dan sukses adalah sirkuit terintegrasi. Benda ini juga telah digunakan untuk membuat permesinan mikro.
Benda yang dibangun pada tingkat mikroskopik
Benda-benda di bawah ini telah dibuat dengan skala 1 mikrometer menggunakan fotolitografi:
