Artikel atau sebagian dari artikel ini mungkin diterjemahkan dari Microelectromechanical systems di en.wikipedia.org. Isinya masih belum akurat, karena bagian yang diterjemahkan masih perlu diperhalus dan disempurnakan. Jika Anda menguasai bahasa aslinya, harap pertimbangkan untuk menelusuri referensinya dan menyempurnakan terjemahan ini. Anda juga dapat ikut bergotong royong pada ProyekWiki Perbaikan Terjemahan.
(Pesan ini dapat dihapus jika terjemahan dirasa sudah cukup tepat. Lihat pula: panduan penerjemahan artikel)
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) adalah reraga/struktur peralatan elektro-mekanik terdiri dari sensor mikro, aktuatormikro dan peraga pendukung lainnya di dalam ukuran miniatur seukuran rangkaian keping terpadu (IC). Sebagaimana halnya dengan rangkaian keping terpadu, bahan substrat dasar yang digunakan untuk membuat MEMS komersial umumnya adalah silikon.
Tungau dengan ukuran kurang dari 1 mm berada pada peralatan MEMS
Contoh aktuator mikro yang terdapat pada MEMS adalah pompa mikro, pemancar (jet) mikro, dan motor ukuran mikro. Contoh sensor yang terdapat pada MEMS misalnya adalah sensor tekanan, sensor temperatur, dan sensor aliran dalam ukuran mikro. Dengan teknologi ini, pada saat ini sudah dimungkinkan mewujudkan apa yang disebut sebagai "Lab on Chip". Contoh dari produk ini misalnya apa yang dikenal sebagai DNA chip.
Sejarah
Contoh awal dari perangkat MEMS adalah transistor gerbang resonansi, sebuah adaptasi dari transistor MOS yang dikembangkan oleh Harvey C. Nathanson pada tahun 1965.[1] Contoh awal lainnya adalah resonistor, sebuah resonator monolitik elektromekanis yang dipatenkan oleh Raymond Wilfinger antara tahun 1966 dan 1971.[2][3] Pada tahun 1970-an dan awal 1980-an, beberapa mikrosensor pada MOSFET dikembangkan untuk mengukur parameter fisik, kimia, biologi, dan lingkungan.[4] Pada tahun 1997, produk komersial pertama yang menggunakan teknologi MEMS diperkenalkan: kartrid printer inkjet yang diproduksi oleh Hewlett-Packard.[5]
Jenis
Ada dua jenis utama teknologi sakelar MEMS: kapasitif dan ohmik. Sakelar MEMS kapasitif dirancang menggunakan pelat bergerak atau elemen penginderaan yang mengubah kapasitansi. Sakelar ohmik dikendalikan oleh kantilever yang digerakkan secara elektrostatis Sakelar MEMS ohmik dapat rusak karena kelelahan logam aktuator MEMS-(kantilever) dan keausan kontak karena kantilever dapat berubah bentuk dari waktu ke waktu.[6]
