Tembaga silisida (Cu5Si), disebut juga pentatembaga silisida, adalah senyawa biner dari silikon dengan tembaga. Senyawa ini termasuk senyawa antarlogam, yang berarti senyawa ini memiliki sifat peralihan antara sebuah senyawa ionik dan sebuah logam paduan . Senyawa ini terbentuk pada pemanasan campuran tembaga dan silikon.