电感耦合等离子体

图 1. 一个电感耦合等离子体火炬
「电感耦合等离子体」的各地常用名稱
中国大陸电感耦合等离子体
臺灣感應耦合電漿[a]
交感耦合電漿[7]

电感耦合等离子体（英語：Inductively Coupled Plasma，縮寫：ICP）是一种通过随时间变化的磁场电磁感应产生电流作为能量来源的等离子体源。[8]

分类

如图2，总共有三种不同的ICP供能装置。 [9][10]

图 2. 三种ICP发生装置

应用

ICP源的用途著有要四种：

  1. 用于等离子体光谱诊断：通过分析ICP源的光谱来分析等离子体原子组分，参见电感耦合等离子体原子发射光谱（ICP-AES）；
  2. 电感耦合等离子质谱分析技术：作为质谱分析的离子源，分析组分（ICP-MS）；
  3. 用于反应离子刻蚀：通过ICP源产生低温等离子体，刻蚀材料表面，改变材料的物理与化学性质(ICP-RIE)；
  4. 气相沉积薄膜技术（rf-ICP）。


参考文献

腳注
  1. ^ 感應耦合電漿質譜分析儀（Inductively coupled plasma mass spectrometry），物理化學儀器設備名詞[1][2][3][4]；感應偶合電漿光譜[5]；感應耦合電漿原子發射光譜法[6]
引用
  1. ^ inductively coupled plasma mass spectrometer （ICP-MS） （页面存档备份，存于互联网档案馆），國家教育研究院
  2. ^ 陳炳宏. 業者投機取巧？消基會：檢驗應用網魚法. 台北: 自由時報. 2014-09-12. （原始内容存档于2014-09-13） （中文）. ，互联网档案馆
  3. ^ 葉卉軒. 消基會：餿水油不是那樣測. 聯合晚報 (台北: 聯合報). 2014-09-12. （原始内容存档于2014-09-13） （中文）. ，互联网档案馆
  4. ^ 許俊偉. 消基會提忠告：網魚式驗油 揪黑心商. 台北: 聯合報. 2014-09-13. （原始内容存档于2014-09-13） （中文）. ，互联网档案馆
  5. ^ Inductively Coupled Plasma Spectroscopy （页面存档备份，存于互联网档案馆），國家教育研究院，環境科學名詞
  6. ^ inductively coupled plasma atomic emission spectrometry, ICP-AES[永久失效連結]，國家教育研究院，化學名詞
  7. ^ inductively coupled plasma（ICP） 互联网档案馆的存檔，存档日期2015-11-17.，國家教育研究院，物理學名詞
  8. ^ A. Montaser and D. W. Golightly, eds. Inductively Coupled Plasmas in Analytical Atomic Spectrometry. VCH Publishers, Inc., New York,. 1992. 
  9. ^ Pascal Chambert and Nicholas Braithwaite. Physics of Radio-Frequency Plasmas. Cambridge University Press, Cambridge: 219–259. 2011. ISBN 978-0521-76300-4. 
  10. ^ Shun'ko, Evgeny V.; Stevenson, David E.; Belkin, Veniamin S. Inductively Coupling Plasma Reactor With Plasma Electron Energy Controllable in the Range From ~6 to ~100 eV. IEEE Transactions on Plasma Science. 2014, 42 (3): 774–785. ISSN 0093-3813. doi:10.1109/TPS.2014.2299954.