ثنائي كلورو السيلان
ثنائي كلورو السيلان (H2SiCl2) (اختصاراً DCS) وعادة ما يخلط مع الأمونيا (NH3) في غرف الترسيب الكيميائي للبخار (LPCVD) لإنتاج نيتريد السيليكون في معالجة أشباه الموصلات.[1][2] عند استخدام تركيز عالي من ثنائي كلورو سيلان : أمونيا (مثلاً، 16 :1)، عادة ماينتج أفلام (طبقة رقيقة) نيتريد منخفضة الإجهاد. وهو وسيط بين السيلان ورباعي كلوريد السيليكون. طالع أيضاًمراجع
|