六フッ化テクネチウムは-4.54 ℃で相転移し、これ以上の温度では立方晶をとる。格子定数は a = 6.16 Åである。10 ℃のとき密度は3.02 g·cm-3となる。一方、転移温度以下では空間群Pnma の斜方晶をとり、格子定数は a = 9.55 Å, b = 8.74 Å, and c = 5.02 Å である。-19 ℃のとき密度は3.38 g·cm-3となる。-140 ℃では斜方晶のまま格子定数が a = 9.360 Å, b = 8.517 Å, and c = 4.934 Å に変わり、密度は 3.58 g·cm-3になる[2]。
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