Fue fundado por Kwoh-Ting Li, antiguo Ministro de Finanzas de la República de China. Inspirado por Silicon Valley en Estados Unidos, Li consultó a Frederick Terman sobre cómo Taiwán podía seguir su ejemplo. A partir de ahí, Li convenció a algunos talentos que se habían ido al extranjero para construir compañías en este nuevo Silicon Valley en Taiwán. Entre los que regresaron está Morris Chang, quien más tarde dirigiría el Industrial Technology Research Institute (ITRI) y fundó TSMC. Li también introdujo el concepto de capital riesgo en el país en un esfuerzo para atraer fondos para financiar las nuevas empresas en el parque científico.
↑National Science Counsil (2005). «Hsinchu Science Park». Government of Taiwan. Archivado desde el original el 18 de diciembre de 2008. Consultado el 7 de diciembre de 2008.