Trichlorfluorsilan

Strukturformel
Strukturformel von Trichlorfluorsilan
Allgemeines
Name Trichlorfluorsilan
Andere Namen

Siliciumtrichloridfluorid

Summenformel SiCl3F
Kurzbeschreibung

farbloses Gas[1]

Externe Identifikatoren/Datenbanken
CAS-Nummer 14965-52-7
PubChem 139862
Wikidata Q1032320
Eigenschaften
Molare Masse 153,43 g·mol−1
Aggregatzustand

gasförmig[1]

Schmelzpunkt

−121 °C[1]

Siedepunkt

12 °C[1]

Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung
keine Einstufung verfügbar[2]
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet.
Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa).

Trichlorfluorsilan ist eine anorganische chemische Verbindung des Siliciums aus der Gruppe der Siliciumtetrahalogenide.

Gewinnung und Darstellung

Trichlorfluorsilan (wie auch andere Fluorchlorsilane) kann durch Reaktion von Natriumhexafluorosilicat und Aluminiumchlorid oder durch Halogenaustausch in Siliciumtetrachlorid mit Antimon(III)-fluorid und Antimon(V)-chlorid als Katalysator gewonnen werden.[1]

Eigenschaften

Trichlorfluorsilan ist ein farbloses, sehr hydrolyseempfindliches Gas.[1]

Verwendung

Trichlorfluorsilan kann in der Halbleiterindustrie zur Abscheidung von Siliciumschichten verwendet werden.[3]

Einzelnachweise

  1. ↑ a b c d e f Georg Brauer (Hrsg.), unter Mitarbeit von Marianne Baudler u. a.: Handbuch der Präparativen Anorganischen Chemie. 3., umgearbeitete Auflage. Band I, Ferdinand Enke, Stuttgart 1975, ISBN 3-432-02328-6, S. 679.
  2. ↑ Dieser Stoff wurde in Bezug auf seine Gefährlichkeit entweder noch nicht eingestuft oder eine verlässliche und zitierfähige Quelle hierzu wurde noch nicht gefunden.
  3. ↑ Patentanmeldung EP1480909A2: Herstellung von Halogensilanen mit verschiedenen Halogensubstituenten. Angemeldet am 27. Februar 2003, veröffentlicht am 1. Dezember 2004, Anmelder: Honeywell International Inc, Erfinder: Edward Asirvatham et al.‌