Le MF 67 compte plusieurs sous-séries, décrites en détail sur l'article MF 67.
La liste ci-dessous présente les trois types principaux (D, E et F) ; les sous-types (A, B, C) ne sont pas détaillés ici dans un souci de simplicité.
De façon simplifiée, les rames de type D sont à adhérence partielle, celles de type E sont à bogies bimoteur et celles de type F sont à bogies monomoteur.
Les rames affichant la lettre « G » sont équipées de graisseurs de voies, montés sur les remorques B ou S selon la composition de la rame.
NA.12004 & N.11007 dé-motorisées pour l'adhérence partielle en formation 2.
011
M.10012—B.14108—NA.12011—B.14111—M.10011
A1-R-A1-R-A1
/
-
012
M.10014—B.14120—NA.12012—B.14115—M.10013
A1-R-A1-R-A1
1968
/
-
013
M.10016—B.14103—NA.12013—B.14107—M.10015
A1-R-A1-R-A1
1968
/
-
014
M.10018—B.14060—NA.12014—B.14031—M.10017
A1-R-A1-R-A1
1968
/
-
015
M.10020—B.14118—NA.12015—B.14117—M.10019
A1-R-A1-R-A1
1968
/
-
016
M.10022—B.14014—NA.12016—B.14013—M.10021
A1-R-A1-R-A1
1968
/
-
017
M.10024—B.14012—NA.12017—B.14011—M.10023
A1-R-A1-R-A1
1968
/
-
M.10024, utilisée pour des tests de motorisations asynchrones en 1984[2]
018
M.10026—B.14112—NA.12018—B.14113—M.10025
A1-R-A1-R-A1
1968
/
-
019
M.10028—B.14030—NA.12019—B.14045—M.10027
A1-R-A1-R-A1
1968
/
-
020
M.10030—B.14110—NA.12020—B.14109—M.10029
A1-R-A1-R-A1
1968
/
-
021 G
M.10032—B.14034—NA.12021—B.14047—M.10031
A1-R-A1-R-A1
1968
/
-
022 G
M.10034—B.14054—NA.12022—B.14059—M.10033
A1-R-A1-R-A1
1968
/
-
023 G
M.10036—B.14048—NA.12023—B.14021—M.10035
A1-R-A1-R-A1
1968
/
-
024 G
M.10038—B.14020—NA.12024—B.14049—M.10037
A1-R-A1-R-A1
1968
/
-
025 G
M.10040—B.14051—NA.12025—B.14114—M.10103
A1-R-A1-R-C1
1968
/
-
M.10103 (C1) en provenance de la 057, en échange de la M.10039 (A1).
026 G
M.10042—B.14050—NA.12026—B.14037—M.10041
A1-R-A1-R-A1
1968
/
-
027
M.10044—B.14157—NA.12027—B.14026—M.10043
A1-R-A1-R-A1
1968
/
-
B.14157, ex A.13067
028
M.10046—B.14128—NA.12028—B.14127—M.10045
A1-R-A1-R-A1
1968
/
-
029
M.10048—B.14038—NA.12029—B.14039—M.10047
A1-R-A1-R-A1
1968
/
-
030
M.10050—B.14042—NA.12030—B.14043—M.10049
A1-R-A1-R-A1
1968
/
-
031
S.9100—N.11027—NA.12031—N.11020—S.9057
R-A1-A2-A1-R
1969
-
(1971)
(inconnue)
(2015)
G 032
S.9018—N.11092—NA.12032—N.11037—S.9095
R-C1-A2-A1-R
1969
-
(1971)
(inconnue)
(2016)
G 033
S.9068—N.11143—NA.12033—N.11067—S.9113
R-C2-A2-A2-R
1969
/
(1971)
(inconnue)
(2013)
(2016)
034
S.9020—N.11112—NA.12034—N.11115—S.9021
R-C1-A2-C1-R
1969
-
(1971)
(inconnue)
(2015)
035
S.9119—N.11029—NA.12035—N.11025—S.9112
R-A1-A2-A1-R
1969
-
(1971)
(inconnue)
(2015)
036
S.9118—N.11122—NA.12036—N.11111—S.9108
R-C1-A2-C1-R
1969
-
(1971)
(inconnue)
(2015)
2 037
S.9150—N.11174—NA.12037—N.11153—S.9149
R-C2-A2-C2-R
1969
/
(1971)
(inconnue)
(2015)
038
S.9145—N.11013—NA.12038—N.11015—S.9077
R-A1-A2-A1-R
1969
-
(1971)
(inconnue)
(2016)
G 039
S.9053—N.11089—NA.12039—N.11183—S.9029
R-A2-A2-C2-R
1969
/
(1971)
(inconnue)
2 040
S.9103—N.11079—NA.12040—N.11145—S.9076
R-A2-A2-C2-R
/
(1971)
(inconnue)
(2014)
041
S.9114—N.11088—NA.12041—N.11082—S.9124
R-A2-A2-A2-R
1969
/
(1971)
(inconnue)
(2002)
(2009)
(2013)
Rame ayant reçu un pelliculage noir sur ses faces d'extrémités[3] avant qu'elles deviennent vertes lors de son transfert sur la ligne 10[4].
Rame appelée 2 041 avant d'être renommée 041 lors de son transfert sur la ligne 10.
042
S.9051—N.11018—NA.12042—N.11127—S.9121
R-A1-A2-C1-R
1969
-
(1971)
(inconnue)
(2014)
043
M.10220—N.11214—NA.12043—N.11210—M.10219
C2-C2-A2-C2-C2
1969
-
(2012)
Dernière rame à adhérence totale ayant circulé jusqu'à sa réforme.
044
S.9120—N.11034—NA.12044—N.11030—S.9140
R-A1-A2-A1-R
1969
-
(1971)
(inconnue)
(2014)
045
S.9043—N.11063—NA.12045—N.11216—S.9142
R-A2-A2-C2-R
1969
-
(1971)
(inconnue)
(2001)
(2016)
046
S.9148—N.11137—NA.12046—N.11141—S.9092
R-C2-A2-C2-R
1969
-
(1971)
(inconnue)
(2001)
(2016)
G 047
S.9063—N.11069—NA.12047—N.11144—S.9152
R-A2-A2-C2-R
1969
7 novembre 2016
-
(1971)
(inconnue)
(2001)
(2016)
N.11075 (A2) qui a remplacé la N.11144 (C2) de la 3 035.
048
S.9075—N.11163—NA.12048—N.11171—S.9154
R-C2-A2-C2-R
1969
/
(1971)
(inconnue)
(1988)
049
S.9035—N.11023—NA.12049—N.11031—S.9109
R-A1-A2-A1-R
1969
-
(1971)
(inconnue)
(2015)
G 050
S.9091—N.11224—NA.12050—N.11222—S.9070
R-C2-A2-C2-R
1974
-
Première rame (1969) :
(1971)
(1973)
Seconde rame (1974) :
(2014)
1969 : Mise en service de la première NA.12050 qui sera détruite par un incendie à la station Porte d'Italie le . Reconstruction en 1974 de la NA.12050 à partir d’une caisse de série CX équipée de bogies A2.
051
M.10092—B.14044—NA.12051—B.14017—M.10091
C1-R-C1-R-C1
/
-
052
M.10094—B.14136—NA.12052—B.14135—M.10093
C1-R-C1-R-C1
1971
/
-
053
M.10096—B.14032—NA.12053—B.14155—M.10095
C1-R-C1-R-C1
1971
/
-
054
M.10098—B.14061—NA.12054—B.14139—M.10097
C1-R-C1-R-C1
1971
/
-
055
M.10100—B.14106—NA.12055—B.14105—M.10099
C1-R-C1-R-C1
1971
/
-
056
M.10102—B.14143—NA.12056—B.14144—M.10101
C1-R-C1-R-C1
1971
/
-
057
M.10104—B.14036—NA.12057—B.14140—M.10039
C1-R-C1-R-A1
1971
/
-
M.10039 (A1) en provenance de la 025 G, en échange de la M.10103 (C1)
N.11159 : prototype avec ventilation réfrigérée. NA.12128 et N.11234 : portes louvoyantes prototypes, identiques à celles du MF 77[2]. S.9099 : remplace la S.9130 mutée sur la rame 131.
↑ ab et cLa RATP utilise le numéro de la voiture accueillant autrefois la première classe, la remorque A ou la motrice NA selon la rame : « Le parc MP 59 », sur metro-pole.net.