ليزر إكسيمرأوليزر إكسيبلكس في الطبوالصناعة (بالإنجليزية:excimer laser أو exciplex laser) هو نوع من الليزر ينتج أشعة فوق البنفسجية ويستخدم عادة في جراحة العيون وفي صناعة أشباه الموصلات. وترجع تسمية إكسيمر إلى أختصار كلمتي ديمر dimer ومثار أي ديمر مثار، والديمر يعني «ثنائي الوحدات». أما التسمية إكسبلكس فهي ترجع إلى اختصار كلمتي excited complex أي مركب مثار.
ويستخدم ليزر الإكسيمر عادة مخلوطا من غازين خاملين مثل الأرجونوالكريبتون أو الزينون وغاز نشيط مثل الفلور أو الكلور.
وعند الوصول إلى حالة مناسبة من الإثارة الكهربائية في مخلوط الغاز تتكون جزيئات وسطية تسمى إكسيمر أو في حالة الغازات الخاملة المهتوية على هاليد تسمى إكسيبلكس، وهي جزيئات لا تتكون إلا في حالة إثارة (أي ارتفاع مستوي طاقتها عن الحالة القاعية للجزيئ) وبذلك تنتج ضوء الليزر الذي يكون في نطاق الأشعة فوق البنفسجية وله طول موجة محددة.
[1]
تستطيع جزيئات الهالوجينات البقاء فقط في حالة مثارة. وعن طريق تفاعل كيميائي يمكن إنتاج منها جزيئات مستقرة نوعاً ما وتكون مصحوبة بشغر معكوس لمستويات الطاقة فيها (أنظر الشكل). وبمجرد أن يُصدر أحد الجزيئات طاقته المخزونة فإنه يتحلل في الفور حيث أن حالته هذه ليست مستقرة. ويتم التفاعل اللازم لتلك العملية عن طريق التفريغ الهوائي بواسطة تيار كهربائي.
ويمكن إنتاج ليزر إكسيمر في هيئة نبضات فقط (ليس مستمى). ويبلغ زمن النبضة بين 4 و40 نانو ثانية. ويبلغ معدل إنتاج النبضات في الليزر من هذا النوع حالياً عدة كيلو هيرتزعلى الأكثر.
ويستخدم ليزر إكسيمر كثيراً في الصناعة حيث تبلغ طاقة النبضات نحو 2و1 جول.
ويحدد نوع الجزئي المستخدم طول الموجة لليزر إكسيمر. وتعبأ الغازات المستخدمة في زجاجات بأسطونانة جهاز الليزر التي ينتج فيه الإكسيمر. ويجب تجديد مخلوط الغازات بين حين وآخر حيث أن خواص المخلوط تتغير بالاستخدام وأيضا تتغير أثناء أوقات عدم الاستخدام، وتقل طاقة النبضات إلى حد ليس مرضيا.
^N. G. Basov, V. A. Danilychev, Y. Popov, D. D. Khodkevich (1970), "Laser for vacuum region of the spectrum with excitation of liquid xenon by an electron beam" (in German), Zh. Eksp. Fiz. i Tekh. Pis’ma. Red (12): pp. 473–474
^N. G. Basov, V. A. Danilychev, Y. Popov, D. D. Khodkevich (1970), "Laser Operating in the Vacuum Region of the Spectrum by Excitation of Liquid Xenon with an Electron Beam" (in German), Journal of Experimental and Theoretical Physics Letters (12): pp. 329