臨界電壓(英語:Threshold voltage ; 標示為: Vth)[1],又称阈电压[2]或臨界电压,通常指的是在TTL或MOSFET的传输特性曲线(输出电压与输入电压关系图线)中,在转折区中点所对应的输入电压的值。
当器件由空乏向反轉转变时,要经历一个Si表面电子浓度等于電洞浓度的状态。此时器件处于临界导通状态,器件的閘極电压定义为阈值电压,它是MOSFET的重要参数之一。