1599—1621: Анри де Майенн (20 декабря 1578 — 20 сентября 1621) — старший сын Шарля Лотарингского (1554—1611), 1-го герцога Майеннского (1573—1611), и Генриетты Савойской (1541/1542 — 1611), маркизы де Вийяр, барон, затем 1-й герцог д’Эгийон, герцог де Майенн; владелец особняка Hôtel de Mayenne в Париже; свидетель коронации Людовика XIII.
1631—1632: Фердинанд де Гонзага (1610 — 25 мая 1632), младший брат предыдущего, третий сын Карло I Гонзага-Невер, герцога де Невера, герцога де Ретеля, и Катерины Лотарингской (1585—1618), дочери Шарля Лотарингского, герцога Майена. Не был женат и не оставил детей.
В 1632 году кардинал Ришельё присоединил герцогство к короне Франции, чтобы его не смогли унаследовать наследники Генриха Лотарингского, герцога де Гиза. В 1634 году герцогский титул был передан Антуану де Л’Агу (1602—1635), фавориту герцога Гастона Орлеанского. Герцогство д’Эгийон стало известно как герцогство де Пюилоран.
1634—1635: Антуан де Л’Аг (1602 — июль 1635), герцог де Пюилоран и пэр Франции, супруг Маргариты-Филиппы дю Камбу (1624—1674), так называемой мадмуазель де Понташо. В 1635 году Антуан де Л’Аг попал в опалу и был заключен в тюрьму. После его смерти в заключении в том же году герцогский титул пресекся.
Вторая креация (1638)
В 1638 годукардинал Ришельё восстановил титул герцога д’Эгийон и пожаловал его своей племяннице Марии-Мадлен де Виньеро де Плесси (1604—1675).
В 1674 году Мария-Мадлена установила порядок наследования своего имущества. Её наследницей стала её племянница, Мария-Мадлена-Тереза (1636—1704), дочь её брата Франсуа де Виньеро (1609—1646). В случае отсутствия у неё детей, герцогский титул должен был перейти Луи-Арману, маркизу де Ришельё (1654—1730), и его законным наследникам мужского пола. В 1675 году после смерти Марии-Магдалены герцогский титул перешел к её племяннице:
1675—1704: Мария-Магдалена-Тереза де Виньеро дю Плесси (25 апреля 1636 — декабрь 1704), дама д’Аженуа, 2-я герцогиня д’Эгийон, баронесса де Сожон и пэр Франции, племянница предыдущей, дочь Франсуа де Виньеро дю Плесси, брата 1-й герцогини д’Эгийон. Она скончалась бездетной в 1704 году.
В 1730 году после смерти маркиза де Ришельё его единственный сын, Арман-Луи де Виньеро дю Плесси, унаследовал его претензии на герцогство и попросил о признании за ним герцогского титула. 10 мая1731 года Парижский парламент, несмотря на возражение части герцогов и пэров, признал Армана-Луи де Виньеро дю Плесси носителем титула герцога д’Эгийон.
1750—1788: Эммануэль Арман д’Эгийон (31 июля 1720 — 1 сентября 1788), единственный сын предыдущего, герцог д’Эгийон, граф, затем герцог д’Аженуа, пэр Франции, маршал (1748); министр иностранных дел Франции (1771—1774), наместник Эльзаса и Бретани (1753—1768);
1788—1800: Арман II д’Эгийон (31 октября 1761 — 4 мая 1800), единственный сын предыдущего, герцог д’Эгийон, граф д’Аженуа, пэр Франции, генерал-лейтенант Бретани.
В 1800 году после смерти бездетного герцога д’Эгийон герцогский титул прервался.