SEM image of a photoresist layer used in semiconductor manufacturing taken on a field electron emission SEM. These SEMs are important in the semiconductor industry for their high-resolution capabilities.
Fotoresis merupakan salah satu bahan yang dapat bereaksi jika terkena cahaya. Fotoresistor adalah kombinasi dari kata “foton” (artinya partikel cahaya) dan “resistor”. Sesuai namanya, foto-resistor adalah perangkat atau kita dapat mengatakan resistor tergantung pada intensitas cahaya.[1]
Bahan ini jika dikenai cahaya akan menjadi larut (Positive Fotoresis) atau justru akan menjadi tidak larut atau mengeras (Negative Fotoresis). Biasanya, Fotoresis sendiri digunakan dalam proses fotolitografi dan merupakan bagian dari proses di pembuatan microsystem.
Jenis Fotoresis
Beberapa jenis fotoresis yang ada pada saat ini memiliki kepekaan terhadap beberapa sinar, terutama sinar ultraviolet, laser, pancaran elektron, ion, dan sinar-X.[1]
Fotoresistor umumnya terbuat dari bahan semikonduktor yang digunakan sebagai elemen resistif tanpa sambungan PN. Ini pada dasarnya membuat fotoresistor perangkat pasif.
Dua jenis fotoresistor adalah:
Fotoresistor Intrinsik: Seperti yang kita tahu, intrinsik sering disebut sebagai semikonduktor (dalam hal ini bahan fotokonduktif) yang tidak memiliki doping. Ini berarti bahwa bahan fotokonduktif, yang digunakan untuk membangun fotoresistor ini melibatkan eksitasi pembawa muatan dari pita valensi ke pita konduksi.
Fotoresistor ekstrinsik: Fotoresistor ekstrinsik memiliki bahan semikonduktor dengan pengotor atau kita dapat mengatakan mereka didoping, untuk efisiensi yang lebih baik. Dopant pengotor harus dangkal dan tidak terionisasi di hadapan cahaya. Bahan fotokonduktif yang digunakan untuk fotoresistor ini melibatkan eksitasi pembawa muatan antara pengotor dan pita valensi atau pita konduksi.
Manfaat atau Kegunaan Fotoresis
Lampu Jalan Otomatis: Salah satu kegunaan terkemuka fotoresistor yang kita alami dalam kehidupan sehari-hari adalah di sirkuit lampu jalan otomatis, seperti yang sudah ditunjukkan dalam paragraf pengantar. Di sini mereka sangat digunakan dalam sirkuit sehingga lampu jalan menyala ketika mulai gelap dan mati di pagi hari.
Alat ukur. Beberapa fotoresistor digunakan di beberapa item konsumen seperti pengukur cahaya di kamera, sensor cahaya seperti dalam proyek robot, radio jam, dll.
Kontrol. Mereka juga digunakan untuk mengontrol pengurangan perolehan kompresor dinamis.
Detektor. Mereka juga dianggap sebagai detektor infra merah yang baik dan karenanya menemukan aplikasi dalam astronomi inframerah.
