AbstrakPengawas madrasah merupakan salah satu komponen pendidikan yang berperan dalam meningkatkan kualitas pendidikan.Pengawas dalam melaksanakan tugas-tugas kependidikan bukan hanya sebagai seorang supervisor pendidikan, namun merangkap pula sebagai konselor, motivator agar tercipta suasana kondusif dalam proses belajar mengajar di madrasah. Oleh karena itu kompetensi kinerja pengawas dalam upaya peningkatan mutu madrasah sangatlah diperlukan. Penelitian ini menggunakan pendekatan kualitatif dengan tujuan untuk mendeskripsikan kinerja pengawas madrasah dalam: (1) perencanaan program kepengawasan, (2) pelaksanaan program kepengawasan, (3) evaluasi hasil pelaksanaan program kepengawasan dan (4) kendala pengawasan dalam melaksanakan tugas. Hasil penelitian ini menunjukkan bahwa: (1) kinerja pengawas madrasah di daerah sasaran penelitian dalam perencanaan program kepengawasan tergolong dalam kategori baik dengan skor 85,68, (2) kinerja pengawas dalam pelaksanaan program kepengawasan tergolong dalam kategori baik dengan skor 76,25 , (3) kinerja pengawas dalam evaluasi hasil pelaksanaan program kepengawasan tergolong dalam kategori baik dengan skor 85,42. Kinerja pengawas dalam pengawasan manajerial tergolong dalam kategori amat baik dengan skor 40,62, kinerja pengawas dalam pengembangan profesi tergolong dalam kategori kurang dengan skor 56,25. Kinerja pengawas menurut persepsi kepala madrasah tergolong dalam kategori baik dengan skor 78,12 dan kinerja pengawas menurut persepsi guru tergolong dalam kategori baik dengan skor 77,08, (4) terdapat beberapa kendala / permasalahan pengawas dalam melaksanakan tugas pokok seperti terlalu banyak beban kerja  Kata kunci: Kinerja, Pengawas, Madrasah AbstractMadrasah?s Supervisor is one of the education component that play role in increasing the quality of education. Supervisor in doing educational duties not only as educational supervisor, but also being a concelor, motivator to create a conduciveatmosphere in learning process at school. Therefore, the competence performance of supervisor in order to increase the quality of school is really needed. This research use the qualitative approach in order to describe the performance of school supervisor in : (1) supervision planning program, (2) the implementation of supervision program, (3) evaluate the result of supervision program and (4) the supervision?s obstacle in implementing task. The result of this research shows that : (1) the school supervisor?s performance in the area as the research target in planning the supervision program classified to the category of ?very good? with the score 96,42, (2) the supervisor?s performance in implementing the supervision program classified to the category of ?very good? with the score 90,00, (3) supervisor?s performance in evaluating the result of supervision program classified to the category good with the score 85,42. Supervisor?s performance according to the perception of the principal classified to the category good with the score 77,08 (4) there are some obstacles / supervisor?s problem in doing his/her primary task like too much burden of work. Keyword : Performance, Supervisor, Madrasah.