Secara luas, terminologi nanoteknologi berarti bidang sains dan rekayasa material di dalam rentang ukur nanometer (10-9 meter). Di dalam rentang ukur tersebut bisa diamati properti dari material yang selama ini tidak diketahui dalam rentang mikrometer–nanometer (μm–nm). Oleh karena itu, perangkat-perangkat ukur yang akurat pun dibutuhkan. Survei dilakukan melalui kuesioner tentang perangkat ukur pada institusi yang ada di kawasan Puspiptek dan lembaga metrologi nasional di negara lain sebagai informasi pembanding. Perangkat ukur dengan jumlah penggunaan yang tinggi di Puspiptek adalah scanning electron microscopy (SEM) sebesar 39,24%, X-ray diffraction (XRD) sebesar 14,75%, dan transmission electron microscopy (TEM) sebesar 14,12%. Digunakan pada kegiatan rekayasa presisi, elektronik, optik, dan ilmu bahan, perangkat ukur ini memiliki standar acuan berupa reference material berdasarkan cara kerja perangkat ukur tersebut.